真空應(yīng)用系統(tǒng)的幾個問題
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1.真空元件,如閥門、進氣管路、真空泵等相互連接時, 應(yīng)盡量做到抽氣管路短,管道直徑盡量不低于主泵入口直徑,并且管路中盡量少用彎頭尤其是直角彎頭。這是真空系統(tǒng)使用的一條重要原則。2.真空系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)材料
2.真空系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)材料應(yīng)盡量采用國家標準中的無縫鋼管和板材,并盡量減少焊縫數(shù)目,用于焊接的鋼材一般為20 鋼或者Q235-A.F 鋼(A3 鋼)。尤其需要注意的是:接入真空系統(tǒng)的管路應(yīng)當清理干凈,并且接入的管路壁厚不應(yīng)當過薄,過薄的管路在粗真空條件下進行抽氣作業(yè)時會產(chǎn)生較強的共振。
3.真空系統(tǒng)操作規(guī)則:
a. 起動機械泵時,首先要保證轉(zhuǎn)子運動方向正確,而且油位合乎要求。
b. 油封機械泵停止后,立即將機械泵入口通大氣。因泵內(nèi)真空會使泵油進入系統(tǒng)中。
c. 盡量不要用機械泵把高真空室直接抽至低于10Pa(0.1Torr)壓強,否則機械泵的油蒸氣會進入高真空室。因為在壓強低于10Pa 時,會出現(xiàn)分子性氣流,油分子將會返流到真空室而造成污染。如果一定要抽到10Pa 以下,則應(yīng)當設(shè)置油分子捕集器。
d. 不應(yīng)當使機械泵在大氣壓強下或者較高壓強下連續(xù)長時間工作,否則電機會過熱,而且泵會噴出油霧。
e. 在擴散泵(或油增壓泵)通大氣之前,應(yīng)將泵油冷卻到安全溫度,防止高溫下的泵油氧化。
f. 使用電離計時,應(yīng)當在壓強達到0.1 Pa 以下時再起動電離真空計,以防止電離計燒毀。
g. 高真空系統(tǒng)系統(tǒng)需要停止使用時,盡量將真空室及主泵在真空狀態(tài)下封存,以縮短下一次使用時的抽氣時間。
h. 系統(tǒng)冷卻水壓力一般大于1 公斤且小于2.5 公斤,過低的壓力會造成冷卻水流通不暢,過高的壓力會導(dǎo)致漏水或泵水隔套被壓破等故障。泵內(nèi)的油在添加時一定要使用1#真空油。