真空計的不同分類

按真空度刻度方法分類 

    (1)真空計：直接讀取氣體壓力，其壓力響應(刻度)可通過自身幾何尺寸計算出來或由測力確定。真空計對所有氣體都是準確的且與氣體種類無關，屬于真空計的有U型鎊壓力計、壓縮式真空計和熱輻射真空計等。

    (2)相對真空計：由一些氣體壓力有函數(shù)關系的量來確定壓力，不能通過簡單的計算進刻度，必須進行校準才能刻度。相對真空計一般由作為傳感器的真空計規(guī)管(或規(guī)頭)和用于控制、指示的測量器組成。讀數(shù)與氣體種類有關。相對真空計的種類很多，如熱傳導真空計和電離真空計等。

按真空計測量原理分類

    直接測量真空計

  這種真空計直接測量單位面積上的力，有:

    (1)靜態(tài)液位真空計：利用U型管兩端液面差來測量壓力。

    (2)彈性元件真空計：利用與真空相連的容器表面受到壓力的作用而產(chǎn)生彈性變形來測量壓力值的大小。

    間接測量真空計

  壓力為10-1Pa時，作用在1cm2表面上力只有10-5N，顯然測量這樣小的力是困難的。但可根據(jù)低壓下與氣體壓力有關的物理量的變化來間接測量壓力的變化。屬于這類的真空計有：

    (1)壓縮式真空計：其原理是在U型管的基礎上再應用波義耳定律，即將一定量待測壓力的氣體，經(jīng)過等溫壓縮使之壓力增加，以便用U型管真空計測量，然后用體積和壓力的關系計算被測壓力。

    (2)熱傳導真空計：利用低壓下氣體熱傳導與壓力有關這一原理制成。常用的有電阻真空計和熱偶真空計。

    (3)熱輻射真空計：利用低壓下氣體熱輻射與壓力有關原理。

    (4)電離真空計：利用低壓下氣體分子被荷能粒子碰撞電離，產(chǎn)生的離子流隨電力變化的原理。如：熱陰極電離真空計、冷陰極電離真空計和放射性電離真空計等。

    (5)放電管指示器：利用氣體放電情況和放電顏色與壓力有關的性質(zhì)判定真空度，一般僅能作為定性測量。

    (6)粘滯真空計：利用低壓下氣體與容器壁的動量交換即外摩擦原理。如振膜式真空計和磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計。

    (7)場致顯微儀：以吸附和解吸時間與壓力關系計算壓力。

    (8)分壓力真空計：利用質(zhì)譜技術進行混合氣體分壓力測量。常用的有四極質(zhì)譜計、回旋質(zhì)譜計和射頻質(zhì)譜計等。